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產品中心
盛思銳(Sensirion)流量計
SFC5400/SFM5400質量流量控制器/流量計
2024-06-19587

產品特點:

 ● 快速響應和穩定時間(可達50毫秒)

 ● 優良的精度/重復性(分別為測量讀數的0.8%/0.1%)

 ● 很寬的動態范圍 (量程比可達1000:1)

 ● 多種數據接口可供選擇:RS 485,DeviceNet,IO-Link和模擬電壓/電流

 ● 多種機械連接可供選擇:下裝,Swagelok,VCR,VCO,Legris,C-Seal,W-Seal

 ● 實標的多種氣體和氣體識別


SFC5400/SFM5400質量流量控制器/流量計性能參數

參數

單位

流量范圍

0.05, 0.1,  0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10

20, 50, 100,  (2001)

ln/min or  slm

精度2
兩者以較大者為準

0.8

1

% s.p.3

0.08

0.1

% FS

重復性
兩者以較大者為準。

0.1

0.2

% s.p.

0.01

0.02

% FS

穩定時間典型值4

100 (50  for optimized OEM versions 5)

ms

取樣頻率

1000

Hz

量程比6

超過 1000:1


標準標定氣體

Air/N2,  H2, O2, He, Ar, CO2


用氣體轉換標定的氣體7

標準: SF6, C4F8
 OEM
版,可根據要求與其他氣體或混合物


工作溫度(環境和氣體)

0 – 50 /  32 – 122

°C / °F

Temp.  coeff. zero

0.005

% FS / °C

Temp.  coeff. span

0.06

% s.p. /  °C

全量程壓降
 SFC5400
 SFM5400


 < 2.0 / 29
 < 0.1 / 1.5


 < 3.0 / 43
 < 0.2 / 3

bar / psig

輸入最大壓力8

10 / 145

bar / psig

最大差壓9

5 / 73

4 / 58

bar / psig

MFC外部泄漏

9 x 10-9

9 x 10-6

mbar l/s  He

電磁閥泄露量

1 x 10-6

mbar l/s  He

熱機時間10

1

sec

1  精度會降低;

2  包括偏移、非線性和遲滯。根據NIST可追蹤基準測量;

3  讀數%=測量點精度=流量=讀數;

4  設定點5%精度內流量從10%到100%的響應時間,具有模擬接口的質量流量控制器由于模擬電路延遲(通常由因子2)而需要較長的穩定時間;

5  50個最小年用量;

參數只適用于質量流量控制器。具有模擬接口的設備的性能取決于布線質量,通常不超過500:1;

7  氣體轉換是利用標準氣體的組合從實際的氣體校準數據中產生的。典型的準確度為2%M.V。/0.2%FS(以較大者為準)。如果您的OEM項目需要更高的精度規格,請與Sensirion聯系;

8  進氣道與周圍環境的壓力差;

9  進氣口和出口之間的壓差。要獲得更高的壓差選項,請聯系Sensirion;

10  讀數穩定到設定點的2%精度內的時間。


SFC5400/SFM5400訂購代碼的詳細說明

例如:      SFC5400 LAG N2  500  mln/min

代碼結構:  產品型號XAZ 氣體 范圍  單位  (見下表)

參數

描述

文檔查找地方

產品型號

SFC5400
 SFM5400

質量流量控制器
質量流量計


–電氣通訊

U
 W
 C
 Q
 R
 S
 L

模擬電壓 0-5 VDC
模擬電壓0-10 VDC
模擬電流 4-20 mA
模擬電壓+RS485  0-5  VDC
模擬電壓+RS485 0-10 VDC
模擬電壓+RS485t 4-20 mA
數字 RS485 & Devicenet & IO-Link

第三部分

–  本體材料

A

Aluminum  (steel on request for OEM volumes)

表二

–  連接

5
 6
 7
 A
 B
 D
 E
 W
 C
 F
 G
 H
 I

Swagelok  6mm
 Swagelok 1/4"
 Swagelok 1/8"
 Legris 6 mm
 Legris 8 mm
 Legris 10 mm
 Legris 12 mm
 W-seal
 C-seal
 SAE/MS; 9/16-18 UNF Thread
 Downmount, Manifold
 VCO 1/4"
 VCR 1/4"

第四部分

氣體

Air/N2,  H2, O2, He, Ar, CO2, SF6, C4F8

表1

流量范圍

0.05,  0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100 slm

表1

單位

mln/min
 ln/min
 sccm
 slm

標準毫升/分鐘
標準升/分鐘
標準毫升/分鐘
標準升/分鐘

表7


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