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參數

條件

最小

典型的

最大

單位

流量傳感器

動態范圍1

直接測量

-400

400

Sccm  2

客戶特定的旁路

無限的

無限的

分辨率3

400  sccm flow / 640 ms

0.1

sccm

最低可測流量

<  10 sccm flow / 640 ms

0.0143  (1/70)

sccm

壓降

400  sccm, pabs = 1 bar

120

Pa 4

重復性

0.0025  % FS5

0.025  % m.v.

精度6

23°C

0…5  % of full scale

0.05  % FS

5…100  % of full scale

1 %  m.v.

偏移精度

23°C

<  0.005

<  0.02

% FS

超壓電阻7

1

1.5

bar

響應時間

取決于分辨率設置

5

640

ms

操作溫度

0

70

°C

環境溫度系數

零點

<  0.0008

<  0.002

% FS  / °C

范圍

<  0.03

<  0.08

%  measured value/ °C

靈敏性

pabs=1  bar, 小流量

±0.004

% FS